首頁    剛性基板/剛性基底材料及設備    勻膠機/旋涂機/甩膠機/Spin Coater或者Spin Processor
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    (一)品牌:  Schwan technology

    常用款

    (二) 品牌:  微電子所  


    產品特點: 
    體積小,重量輕,操作方便. 特點是雙轉速勻膠機,兩檔轉速及其勻膠時間分別連續調節,在啟動后先低速運轉,經幾秒鐘后自動轉換到高速運轉。KW型勻膠機適用于半導體工藝,制版及表面涂覆等工藝。穩定的轉速和快速的啟動,可以保證膠厚度的一致性和均勻性. 
    性能參數: 
    Ⅰ檔轉速:4A型 500-2000轉/分;5型 500-1000轉/分
    Ⅰ速勻膠時間:2-18秒
    Ⅱ檔轉速:4A型 1300-8000轉/分;5型 900-5000轉/分
    Ⅱ速勻膠時間:3-60秒
    2.LED數字顯示,轉速穩定度±1%,膠的均勻性4A型±3%、5型
    ±5%。
    3.KW-4A型采用永磁電機,轉子用開關電源調速,轉速在
    1000-8000轉/分范圍內非常穩定。KW-5型采用變頻調速,轉速在5000
    轉/分以內穩定工作。
    4.電機功率:4A型40W;5型180W。
    5.適用于4A型 φ5至φ100mm;5型φ100至φ200mm硅片及其它材
    料等勻膠。

勻膠機/旋涂機/甩膠機/Spin Coater或者Spin Processor

勻膠機是在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設備,膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度。主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,適用于硅片,晶片,玻璃,柔性基底、陶瓷等制版表面涂覆工藝??稍诳蒲?,教育,生產中應用。
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